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商品NO:UC0006  メーカー:トプコン

検査・計測機器

ウェーハ表面検査装置/WM-3000

販売済

ノンパターンウェーハ上の異物や傷を測定する装置です。

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参考仕様

【ウェハサイズ】
300mm
【検出感度】
0.06μm
【測定時間】
60秒
【取扱説明書】
なし

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