商品NO:U00236 メーカー:キーエンス
顕微鏡・デジタルマイクロスコープ・形状測定器
高精度形状測定システム/KS-1100
販売済
非接触にて高精度の段差測定などできる計測器です。
参考仕様
【高精度形状測定システム】
ダブルスキャン高精度レーザ変位計(LK-G3000シリーズ等の測定器)を接続し、測定対象物の形状解析を行うシステム(装置)KS-1100です。商品としてはステージ本体(センサヘッド:LK-G32)、コントローラ(LK-G3000V)、AC電源ユニット(KZ-U3)での構成になります。写真が全てです。
1.ステージ本体
【XYステージ】
「移動量」
100mm (X/Y)
「ステージ面サイズ」
180mm×180mm
「制御」
フルクローズドループ
「ガイド方式」
クロスローラ
「駆動方式」
リニアモータ
「最大駆動速度」
150mm/sec
「最小移動分解能」
0.1μm
「繰り返し位置決め精度」
±0.5μm
「位置決め精度」
4μm(移動量10mmの範囲においての値)
「ロストモーション」
1μm
「真直度 (垂直/水平)」
2μm/2μm(移動量30mmの範囲においての値)
【θステージ】
「移動範囲」
360°
【Zステージ】
「可動範囲」
100mm
「耐荷重」
1.5kgf (14.7N)
「スケール分解能」
1μm
【アナログ入力】
「チャンネル数」
最大2ch
「方式」
シングルエンド方式
「測定確度」
0.1% of F.S.(F.S.=±10V)
「定格電圧」
±10V
【制御入力】
「リモート端子」
無電圧接点入力
【RS‒232Cインターフェース】
測定データ取得(ボーレート 115200bps)
【USBインターフェース】
USB Revision 2.0 フルスピード (USB1.1互換)準拠
【データ容量】
10M データ (40Mbyte)
【定格】
「電源電圧」
AC 100 ~ 120 V ±10 %、50/60 Hz
「最大消費電力」
200VA
【耐環境性】
「使用周囲温度」
+5 ~ +40 ℃
「使用周囲湿度」
35 ~ 85 % RH (結露なきこと)
【質量】
約 20 kg
【センサヘッド】
【型式】
LK-G32
【基準距離】
拡散反射:30 mm・正反射:23.5 mm
【測定範囲】
「拡散反射」
±5 mm・正反射:±4.5 mm※サンプリング周期 20 µs 時は拡散反射時 +1.8 mm (FAR 側) ~ -5 mm (NEAR 側) 正反射時 +1.6 mm (FAR 側) ~ -4.5 mm (NEAR 側) になります。
【光源】
「種類」
赤色半導体レーザ
「波長」
655 nm (可視光)、クラス2 (JIS C6802)
「出力」
最大 0.95 mW
【スポット径 (基準距離にて)】
約 ø30 µm
【直線性】
±0.05 % of F.S. (F.S.=±5 mm)※標準対象物 (セラミック) を標準モードにて測定した場合の値
【繰り返し精度】
0.05 µm※標準対象物 (SUS) を基準距離にて平均回数 4,096 回で測定した場合の値
【サンプリング周期】
20・50・100・200・500・1,000 µs (6 段階可変)
【LED表示】
「測定中心付近」
緑点灯
「測定範囲内」
橙点灯
「測定範囲外」
橙点滅
【温度特性】
0.01 % of F.S./℃ (F.S.=±5 mm)
【耐環境性】
「保護構造」
IP67 (IEC60529)
「使用周囲照度」
白熱ランプ/蛍光灯:10,000 lux 以下
「使用周囲温度」
0 ~ +50 ℃
「使用周囲湿度」
35 ~ 85 % RH (結露なきこと)
「耐振動」
10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間
【質量】
約280g (コード含む)
2.コントローラ
【型式】
LK-G3000V
【ヘッド互換性】
あり
【ヘッド接続台数】
Max2 台
【表示】
「最小表示単位」
0.01μm
「表示範囲」
±9999.99mm ~ ±9999.99μm (6 段階選択可)
「表示周期」
10 回/ 秒
【端子台】
「アナログ電圧出力」
±10V×2 出力、出力インピーダンス100Ω
「アナログ電流出力」
4 ~ 20mA×2 出力、最大負荷抵抗350Ω
「タイミング入力」
OUT1 用 無電圧入力
「リセット入力」
OUT1 用 無電圧入力
「オートゼロ入力」
OUT1 用 無電圧入力
「レーザリモートインターロック入力」
無電圧入力
「判定出力」
OUT1 用 NPN オープンコレクタ出力
「アラーム出力」
OUT1 用 NPN オープンコレクタ出力(N.C.)
【拡張コネクタ】
「タイミング入力」
OUT2 用 無電圧入力
「リセット入力」
OUT2 用 無電圧入力
「オートゼロ入力」
OUT2 用 無電圧入力
「プログラム切換入力」
無電圧入力 ×3 入力
「レーザオフ入力」
ヘッドA/ ヘッドB 用 無電圧入力
「判定出力」
OUT2 用 NPN オープンコレクタ出力
「アラーム出力」
OUT2 用 NPN オープンコレクタ出力(N.C.)
3.AC電源ユニット
【型式】
KZ-U3
【種類】
スイッチング方式
【電源仕様】
「出力電圧」
DC24V±10%(リップル240mv p-p以下)
「出力容量」
1.4A
「電源電圧」
AC100~240V±10%(50/60Hz)
「質量」
約300g
~スタッフコメント~
手元スイッチで、レーザーON/OFFできて便利です。
現状品の販売です。