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商品NO:U00236  メーカー:キーエンス

顕微鏡・デジタルマイクロスコープ・形状測定器

高精度形状測定システム/KS-1100

非接触にて高精度の段差測定などできる顕微鏡です。

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参考仕様

【高精度形状測定システム】
ダブルスキャン高精度レーザ変位計(LK-G3000シリーズ等の測定器)を接続し、測定対象物の形状解析を行うシステム(装置)KS-1100です。商品としてはステージ本体(センサヘッド:LK-G32)、コントローラ(LK-G3000V)、AC電源ユニット(KZ-U3)での構成になります。写真が全てです。

1.ステージ本体
 【XYステージ】
   「移動量」
    100mm (X/Y)
  「ステージ面サイズ」
    180mm×180mm
  「制御」
   フルクローズドループ
  「ガイド方式」
   クロスローラ
  「駆動方式」
   リニアモータ
  「最大駆動速度」
   150mm/sec
  「最小移動分解能」
   0.1μm
  「繰り返し位置決め精度」
   ±0.5μm
  「位置決め精度」
   4μm(移動量10mmの範囲においての値)
  「ロストモーション」
   1μm
  「真直度 (垂直/水平)」
   2μm/2μm(移動量30mmの範囲においての値)
 【θステージ】
  「移動範囲」
   360°
 【Zステージ】
  「可動範囲」
   100mm
  「耐荷重」
   1.5kgf (14.7N)
  「スケール分解能」
   1μm
 【アナログ入力】
  「チャンネル数」
   最大2ch
  「方式」
   シングルエンド方式
  「測定確度」
   0.1% of F.S.(F.S.=±10V)
  「定格電圧」
   ±10V
 【制御入力】
  「リモート端子」
   無電圧接点入力
 【RS‒232Cインターフェース】
   測定データ取得(ボーレート 115200bps)
 【USBインターフェース】
   USB Revision 2.0 フルスピード (USB1.1互換)準拠
 【データ容量】
   10M データ (40Mbyte)
 【定格】
  「電源電圧」
   AC 100 ~ 120 V ±10 %、50/60 Hz
  「最大消費電力」
   200VA
 【耐環境性】
  「使用周囲温度」
   +5 ~ +40 ℃
  「使用周囲湿度」
   35 ~ 85 % RH (結露なきこと)
 【質量】
   約 20 kg

 【センサヘッド】
 【型式】
   LK-G32
 【基準距離】
   拡散反射:30 mm・正反射:23.5 mm
 【測定範囲】
  「拡散反射」
   ±5 mm・正反射:±4.5 mm※サンプリング周期 20 µs 時は拡散反射時 +1.8 mm (FAR 側) ~ -5 mm (NEAR 側)     正反射時 +1.6 mm (FAR 側) ~ -4.5 mm (NEAR 側) になります。
 【光源】
  「種類」
   赤色半導体レーザ
  「波長」
   655 nm (可視光)、クラス2 (JIS C6802)
  「出力」
   最大 0.95 mW
 【スポット径 (基準距離にて)】
   約 ø30 µm
 【直線性】
   ±0.05 % of F.S. (F.S.=±5 mm)※標準対象物 (セラミック) を標準モードにて測定した場合の値
 【繰り返し精度】
   0.05 µm※標準対象物 (SUS) を基準距離にて平均回数 4,096 回で測定した場合の値
 【サンプリング周期】
   20・50・100・200・500・1,000 µs (6 段階可変)
 【LED表示】
  「測定中心付近」
   緑点灯
  「測定範囲内」
   橙点灯
  「測定範囲外」
   橙点滅
 【温度特性】
   0.01 % of F.S./℃ (F.S.=±5 mm)
 【耐環境性】
  「保護構造」
   IP67 (IEC60529)
  「使用周囲照度」
   白熱ランプ/蛍光灯:10,000 lux 以下
  「使用周囲温度」
   0 ~ +50 ℃
  「使用周囲湿度」
   35 ~ 85 % RH (結露なきこと)
  「耐振動」
   10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間
 【質量】
   約280g (コード含む)

2.コントローラ
 【型式】
   LK-G3000V
 【ヘッド互換性】
   あり
 【ヘッド接続台数】
   Max2 台
 【表示】
  「最小表示単位」
   0.01μm
  「表示範囲」
   ±9999.99mm ~ ±9999.99μm (6 段階選択可)
  「表示周期」
   10 回/ 秒
 【端子台】
  「アナログ電圧出力」
   ±10V×2 出力、出力インピーダンス100Ω
  「アナログ電流出力」
   4 ~ 20mA×2 出力、最大負荷抵抗350Ω
  「タイミング入力」
   OUT1 用 無電圧入力
  「リセット入力」
   OUT1 用 無電圧入力
  「オートゼロ入力」
   OUT1 用 無電圧入力
  「レーザリモートインターロック入力」
   無電圧入力
 「判定出力」
   OUT1 用 NPN オープンコレクタ出力
  「アラーム出力」
   OUT1 用 NPN オープンコレクタ出力(N.C.)
 【拡張コネクタ】
  「タイミング入力」
   OUT2 用 無電圧入力
  「リセット入力」
   OUT2 用 無電圧入力
  「オートゼロ入力」
   OUT2 用 無電圧入力
  「プログラム切換入力」
   無電圧入力 ×3 入力
  「レーザオフ入力」
   ヘッドA/ ヘッドB 用 無電圧入力
  「判定出力」
   OUT2 用 NPN オープンコレクタ出力
  「アラーム出力」
   OUT2 用 NPN オープンコレクタ出力(N.C.)

3.AC電源ユニット
 【型式】
   KZ-U3
 【種類】
   スイッチング方式
 【電源仕様】
  「出力電圧」
   DC24V±10%(リップル240mv p-p以下)
  「出力容量」
   1.4A
  「電源電圧」
   AC100~240V±10%(50/60Hz)
  「質量」
   約300g



~スタッフコメント~
手元スイッチで、レーザーON/OFFできて便利です。
現状品の販売です。

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