参考仕様
【排気速度(50HZ)】
10L/Min
【到達真空度】
8hPa(約6Torr)
【接ガス部材質】
テフロン、Kalrez
【外形寸法】
W98(140)×D273(281)×H187㎜
【質量】
6.9Kg
【電源電圧】
AC100V 50/60HZ
【排気速度(50HZ)】
10L/Min
【到達真空度】
8hPa(約6Torr)
【接ガス部材質】
テフロン、Kalrez
【外形寸法】
W98(140)×D273(281)×H187㎜
【質量】
6.9Kg
【電源電圧】
AC100V 50/60HZ
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