【仕様】

●ウェハーサイズMax.152.4mm（6"）
●X軸 　1) カッティングストローク：Max. 160mm
　2) カッティング範囲：20 一 153 mm　1mm と び
　3) カッティングスピード：0.3～300mm/sec
　4) 戻り速度：300mm/sec
●Y軸 　1) スピンドル前後ストローク：Max.160mm
　2) インデックス範囲：0.002～99.998mm
　3) インデックスステップ：0.002mm
　4) インデックススピード：30mm/sec
● Z 軸 　1) スピンドル上下ストローク：20mm
　2) 切残し範囲：0.005～19.995mm
　3) 切残しステップ：0.005mm
　4) JOG送り：0.0025mm
　5) 切込み送りスピード：15mm/sec
　6) スピンドル逃び量：0.7mm　Aモードのみ
　7) カットモード (FIX)：A,B,C,D（ドレッシングモード）
●θ軸 　1) 回転範囲：0～90°　　※手動θ軸：90°
　2) 最小インデックス(設定量)：±1°
　3) θオリエンテーション( 最小ステップ )：0.00225°（8.1"）　微調整範囲±3°
　4) 回転速度：3.7sec/90°
●スピンドルモーター 　1) 回転数：30,000 rpm（可変範囲：3,000～40,000 rpm）
　　　　　　(高周波エアースピンドル ) (水冷方式 )
　2) 出　カ：1.5kw　at　30,000 rpm
●アライメント顕微鏡モニターテレ ビ (5") 付属
●精 度
　1) チャックテーブル平面度： 0.005 mm/152.4mm
　2) スピンドル割出し精度：単一ピッチ誤差 　0.003mm/152.4mm
　　　　　　　　　　　　　累積ピッチ誤差 　0.005mm /152.4mm ●諸 元
　1) 電 源：3相 AC200V  土 10% 50/60Hz
　2) 消費電力： 3.0 kVA
　3) 空 気 ：5.0 kgf/㎠G, 250 Nℓ/min
　4) 水圧 及び 流量： 3 kg/㎠, 6.5ℓ/min
　　　　　　2 系 統：3 kg/㎠, 4.5ℓ/min 純 水 一 カッティング用
　　　　　　　　　　 3 kg/㎠, 　2ℓ/min 市 水 一 スピ ンド ル 用
●外形寸法（WxDxH）： 　965x920x450　ｍｍ
●機械重量： 　約313kg
　※機械設置台含む重量：約410kg



～～～～～～～～～スタッフコメント～～～～～～～～～
通電・スタンバイ状態までの確認は、問題ありません。