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商品NO:U00418  メーカー:DISCO

半導体関連機器電子部品製造機器

ダイシングソー / DAD-2H/6T

NEW

6インチまでのウェハーを、カットできます。

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参考仕様

【仕様】

●ウェハーサイズMax.152.4mm(6")
●X軸  1) カッティングストローク:Max. 160mm
 2) カッティング範囲:20 一 153 mm 1mm と び
 3) カッティングスピード:0.3~300mm/sec
 4) 戻り速度:300mm/sec
●Y軸  1) スピンドル前後ストローク:Max.160mm
 2) インデックス範囲:0.002~99.998mm
 3) インデックスステップ:0.002mm
 4) インデックススピード:30mm/sec
● Z 軸  1) スピンドル上下ストローク:20mm
 2) 切残し範囲:0.005~19.995mm
 3) 切残しステップ:0.005mm
 4) JOG送り:0.0025mm
 5) 切込み送りスピード:15mm/sec
 6) スピンドル逃び量:0.7mm Aモードのみ
 7) カットモード (FIX):A,B,C,D(ドレッシングモード)
●θ軸  1) 回転範囲:0~90°  ※手動θ軸:90°
 2) 最小インデックス(設定量):±1°
 3) θオリエンテーション( 最小ステップ ):0.00225°(8.1") 微調整範囲±3°
 4) 回転速度:3.7sec/90°
●スピンドルモーター  1) 回転数:30,000 rpm(可変範囲:3,000~40,000 rpm)
      (高周波エアースピンドル ) (水冷方式 )
 2) 出 カ:1.5kw at 30,000 rpm
●アライメント顕微鏡モニターテレ ビ (5") 付属
●精 度
 1) チャックテーブル平面度: 0.005 mm/152.4mm
 2) スピンドル割出し精度:単一ピッチ誤差  0.003mm/152.4mm
             累積ピッチ誤差  0.005mm /152.4mm ●諸 元
 1) 電 源:3相 AC200V  土 10% 50/60Hz
 2) 消費電力: 3.0 kVA
 3) 空 気 :5.0 kgf/㎠G, 250 Nℓ/min
 4) 水圧 及び 流量: 3 kg/㎠, 6.5ℓ/min
      2 系 統:3 kg/㎠, 4.5ℓ/min 純 水 一 カッティング用
           3 kg/㎠,  2ℓ/min 市 水 一 スピ ンド ル 用
●外形寸法(WxDxH):  965x920x450 mm
●機械重量:  約313kg
 ※機械設置台含む重量:約410kg



~~~~~~~~~スタッフコメント~~~~~~~~~
通電・スタンバイ状態までの確認は、問題ありません。

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